摘要晶圆片是生产IC集成电路的原材料，在现代工业生产中有着广泛的应用，晶圆测试系统作为晶圆片生产环节中不可缺少的一节，其精度、生产效率要求也越来越高，自动传输系统是晶圆测试系统中起主要传输作用的环节，其定位精度决定了整个系统的运作情况。而升降机构在自动传输系统中起到了将晶圆片在不同位置间进行传递的作用。
本文主要就晶圆测试的发展情况，升降机构的结构设计，具体各零件的计算与选型等做详细的介绍，主要包括了电机的选型，滚珠丝杠副的选型与校核，直线导轨系统的设计选型以及同步带传动系统的设计选型等。19099
关键词：晶圆测试 升降机构 结构设计 传动系统
毕业设计说明书（论文）外文摘要
Title The structural design of lifting mechanism
Abstract
The wafers are raw materials of IC production,which are wildly used in modern industrial production.Wafer test system is an indispensable part of wafer production processes,the require of accuracy and production efficiency become more and more rigor.The automatic transmission system acts as the main role of transport in test system.All the test system’s
functioning is determined by the positioning accuracy of transmission system.While the lifting mechanism is an important part of the automatic transmission system,which can transport the wafers from one place to another.
In this paper,the development of wafer test,the structural design of the system,the part selection are highlighted.the selection of the motor,the ball screw,the linear guides and the choose of belt are also described in details.
Keywords:wafer test,lifting mechanism,structural design,transmission
目次
1 绪论 1
1．1 课题背景及研究意义 1
1．2 晶圆测试介绍 2
1．3 国内外发展概况与发展趋势 3
2 升降机构及其结构设计 5
2.1 引言 5
2.2 升降机构的作用 5
2.3 升降机构的主要组成 5
2.4 升降机构的自由度 6
2.5 设计要求 6
2.6 升降台的设计 7
3 电机与同步带选型 9
3.1 电机选型 9
3.2 同步带传动系统设计与选型 10
4 滚珠丝杠副系统设计 14
4.1 滚珠丝杠副系统 14
4.2 滚珠丝杠副结构确定 14
4.3 滚珠丝杠副详细尺寸的设计与选型 15
5 直线导轨系统设计与选型 25
5.1 直线导轨系统 25
5.2 导轨滑块系统设计与选型 25
5.3 导轨滑块系统的选型 27
5.4 导轨滑块系统的固定 29
6 最终确定的升降机构总体装配图 31
致 谢 33
参 考 文 献 34
1 绪论
1．1 课题背景及研究意义
在现代工业生产中，各类工业的发展壮大离不开装备制造业的发展，装备制造业的进步使得其生产的装备能满足经济生活中的各类需求，它的发展程度在一定程度上决定了整个产业的综合竞争力[1]。作为一个资本密集、科技密集和能源密集型产业，装备制造业的发展水平，可以代表一个国家的经济发展水平[2]。中国在工业化中还处于中级阶段，先进产业中的各个方面，例如组织结构和技术结构等，依然和国外先进水平有着比较大的差距。装备制造业的滞后的的结果的，中国经济的持续发展受到限制，首先产业内许多关键性的技术还是掌握在国外的公司机构中，不止如此，其他的一些研究手段、扩张战略等都存在落后的地方。伴随着市场的优化，需要有一个系统性的长期发展战略，并加以实施使得我国成为一个具有现代生产研发能力的真正制造大国。 晶圆测试升降机构设计+文献综述:http://www.youerw.com/jixie/lunwen_10312.html