基于PCB-MEMS的流动注射技术分析

摘要微流控芯片是一种控制微小体积的流体在微通道网络中流动的体系。大多数制造芯片的材料是单晶硅、石英和玻璃。这些材料需要采用特定的微细加工技术，成本高、操作复杂。印刷电路板(PCB)广泛应用于电子行业，而其应用于微流体很少，PCB有着轻便，便宜，简洁等优点。本文采用PCB为原材料创建微通道网络，研究了适用于PCB微流控芯片的制作工艺，为后期的电路元件和PCB微通道的集成打下了基础。主要阐述了基于PCB的光刻制作法和雕刻制作法，详细说明了两种不同方法的制作原理和流程。也叙述了对于PCB微流控芯片非常重要的键合技术。PCB微流控芯片的制作过程简单、成本低、兼容电子技术和微流体技术，拥有非常广阔的应用前景19165
关键词：微流控芯片，PCB，光刻，雕刻
Abstact
The microfluidic chip is a system which controlls micro-fluid flowing in micro-channels. Most of the materials are silicon, quartz and glass. These materials require appropriate micro-machining. Moderately complex equipment and high cost is necessary. Printed circuit boards are widely used in the electronics industry. The microfluidic rarely applied. It has advandages of lightweight, inexpensive, simple and so on. In this paper, fluidic microsystems based on printed circuit board technology are described. The report described the principles and process of this technology with two different methods.The significant adhesive technique was presented. This process laid a foundation hybrid integration of both electronic and fluidic components at low cost. The presented work showed a possibility to build such a system in a cheap and easy way. This technology was compatibility between electronics and fluidics. This technology had a huge potential.
Key word: microfluidics, PCB, lithography, carving
目录
1 绪论    1
1.1基于PCB的流动注射分析国内外研究情况    2
1.1.1国外研究状况    2
1.1.2国内研究状况    3
1.2本文主要研究内容    4
2 光刻腐蚀法制备    4
2.1制备原理    4
2.2实验装置与材料    5
2.3制备相关数据    6
2.4 制备流程    6
3 雕刻工艺法制备    8
3.1制备原理    8
3.2 制作实验装置和材料    10
3.3制备相关数据    11
3.4制备工艺流程    11
4 微流体通道印刷电路板和玻璃的键合    14
4.1印刷电路板和玻璃键合原理    14
4.2键合实验装置和材料    15
4.3键合工艺流程    16
4.3.1 涂胶    16
4.3.2 键合机压合    16
4.4 针对胶的问题微流体通道新的设计    18
4.4.1 新的微流体通道设计原理    18
4.4.2雕刻法制备原理    20
5 用印刷电路板微流体通道进行流动注射分析    22
5.1 流动注射分析原理    22
5.1.1 光谱分析原理    24
5.2 流动注射分析实验装置和材料    25
5.3 流动注射分析实验流程    28
结论及前景展望    29
致谢    30
参考文献    31
1 绪论
    PCB-MEMS是指基于印刷电路板的微机电系统。流动注射分析是指先将液体样本注入到一流动的、非间隔连续载流（由适量的液体构成）中，注入的样品形成一个带，被传递到检测器。检测器连续地记录由于样品通过流通池而引起吸光度、电极电位或其他物理量的变化，从而达到对样品分析鉴定的目的。如果将流动注射分析和PCB结合将化学分析微型化。这具有很好的潜力。本文主要叙述这种PCB板的制作过程和测试结果。基于PCB-MEMS的流动注射技术分析:http://www.youerw.com/huaxue/lunwen_10426.html