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PZT压电叠堆材料及其精密驱动器件工艺(6)

时间:2021-10-23 19:04来源:毕业论文
电陶瓷其烧结温度比常规固相反应法(1250℃)低,且其综合电学性能更好。 Li Wang[11]等人分别用氧化物混合法和传统先驱体法制备 Sr 和 Ba 掺杂的 PZT-PMN

电陶瓷其烧结温度比常规固相反应法(1250℃)低,且其综合电学性能更好。

Li Wang[11]等人分别用氧化物混合法和传统先驱体法制备 Sr 和 Ba 掺杂的 PZT-PMN 陶瓷,

第 6  页 本科毕业设计说明书

经对比发现氧化物混合法制备的陶瓷具有更好的压电性能并且对于在驱动器上的应用优异性 更加明显。

Kwanghyun Chung[12]等人研究了加入烧结助剂 CuO 的含量不同和在烧结温度不同时的 Pb[(Co1/2W1/2)0。02(Mn1/3Nb2/3)0。07(Zr0。48Ti0。52)0。91]O3 陶瓷的微观结构和压电性能,发现在 980℃时 加入 0。3wt%的 CuO 烧结得到的陶瓷的密度、晶粒尺寸、机电性能的各参数达到最佳值。来*自-优=尔,论:文+网www.youerw.com

Yeongho Jeong[13] 等 人 以 Li2CO3 和 Na2CO3 作 为 烧 结 助 剂 , 并 分 别 向 Pb(Mn1/3Nb2/3)O3–Pb(Ni1/3Nb2/3)O3–Pb(Zr0。50Ti0。50)O3 陶瓷中添加 CuO 和 Fe2O3。发现了添加 CuO 使陶瓷的品质因数有所提高,而添加 Fe2O3 则使陶瓷的介电系数和机电耦合系数有所提高。 1。3 压电叠堆多层驱动器概述

从上文叙述中,我们已经了解到 PZT 陶瓷有着优良的电学性能,是可用作驱动器制作的 优良材料。但单层陶瓷所达到的位移量很小,难以满足驱动器的要求,叠堆模型应运而生。 压电多层驱动器响应快、产生的位移或推力大,受到了广泛关注。

1。3。1 多层压电驱动器的结构

利用叠堆结构实现低电压下大位移驱动主要是通过增加陶瓷片的层数,同时减小每片陶 瓷的厚度来实现的。图 1。5 为压电多层驱动器的结构示意图。从图中可以看出,压电陶瓷驱 动器由压电层和导电层组成,内电极呈现交叉排列由两个外电极连接起来,形成电学上并联, 机械上串联的结构。通过外电极施加电压时,每个单元获得相同的电压,整个系统的总位移 即为每个单元的位移的总和,由此可以达到增大位移、增强推力的效果。

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