表3。1  烧结条件表

第一次烧结 第二次烧结

温度 时间 温度 时间

1000℃ 8h 1000℃ 4h

1200℃ 8h 1200℃ 4h

1450℃ 4h 1450℃ 12h

(4)造粒

    造粒是把第二次研磨后的粉末放入研钵中，然后向其中加入一定量的粘结剂，将粘结剂和粉末混合均匀后，使其经过一定数目的筛，从而可以使获得的粉末颗粒的直径都在这个数目的范围内，经过这个程序所获得的颗粒的直径都比较接近，所以在第二次压块烧结后的样品中颗粒间的距离也会比较小,进而使样品更加致密，强度得到提高。

    造粒时选择聚乙烯醇作为粘结剂，将研磨后得到的粉末用电子秤称取适当量放进研钵中,滴入7%粉末质量的聚乙烯醇溶液，进行手工研磨一段时间后，二者就会混合均匀。将混合均匀后的粉末过40及80目的筛子，这时，即可得到粉末颗粒直径在40目到80目范围内的颗粒 [14]。

    通过造粒环节，块状材料的强度能够得到保证,而且为后续的机械加工打下了基础。

（5）机械加工

    通过切割、抛磨和镜磨等工艺手段,将第二次压块烧结后的样品加工成 的样品作为靶材。制备好的热致变色靶材如图3。8所示：

图3。8  热致变色靶材图

3。2。2  基片和靶材的清洗安装

    因为基片上会有污垢以及灰尘等各种物质，这些物质将会严重影响薄膜和基片间的附着情况，使制作的薄膜质量下降。而靶材上的污垢和灰尘等杂质也会导致溅射生成的薄膜质量降低，因此，在制备热致变色薄膜前必须先对基片以及靶材进行超声清洗。实验用超声清洗仪器如图3。9所示：来,自.优;尔:论[文|网www.youerw.com +QQ752018766-

图3。9  超声清洗仪器图

    清洗的过程为：

（1）在无水乙醇中超声清洗基片2h；

（2）在去离子水中超声清洗基片2h；

（3）用干燥氮气将基片快速吹干；

（4）用无水乙醇擦拭靶材，擦拭后用干燥氨气吹干

    清洗完成后，打开磁控溅射镀膜机的放气阀门，使溅射室与外界相通，等溅射室的压力和外部压力相同时，将基片和靶材安装好，利用分子泵和机械泵把溅射室内部抽至真空。