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薄膜厚度与折射率的测量方法研究(4)

时间:2021-06-06 22:30来源:毕业论文
式中各绝对值为相应电矢量的振幅,各 值为相应界面处的位相。 由式(2.4),式(2.8)和式(2.9)可以得到 (2.10) 比较等式两端即可得 (2.11) (2.12) 式(2.11)表明,参

式中各绝对值为相应电矢量的振幅,各 值为相应界面处的位相。

由式(2.4),式(2.8)和式(2.9)可以得到

               (2.10)

比较等式两端即可得

                                                  (2.11)

                                       (2.12) 

式(2.11)表明,参量ψ与反射前后 和 分量的振幅比有关。而(2.12)式表明,参量 与反射前后 和 分量的位相差有关。可见, 和 直接反映了光在反射前后偏振态的变化。一般规定, 和 的变化范围分别为0≤ < /2和0≤ <2 。来!自~优尔论-文|网www.youerw.com

当入射光为椭圆偏振光时,反射后一般为偏振态(指椭圆的形状和方位)发生了变化的椭圆偏振光(除开 < /4且 =0的情况)。为了能直接测得 和 ,须将实验条件作某些限制以使问题简化。也就是要求入射光和反射光满足以下两个条件[27]:

(1)要求入射在膜面上的光为等幅椭圆偏振光(即 和 二分量的振幅相等)。这时

                                      (2.13)

    (2)要求反射光为一线偏振光。也就是要求 ),式(2.12)则简化为

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