图1.4 Harmotech公司研发的气旋式非接触搬运装置实物图
气悬浮的非接触搬运方式相比于其他方式有着：清洁无污染，不发热，不产生磁场，适用的材料范围广等优点，是非接触传输的主流技术。在第8代液晶面板生产线中已经应用了气动悬浮式的传输方式，日本夏普在建的第10代生产线中也拟用该技术 。对于其研究对于我国的半导体生产具有重要意义。 气悬浮非接触搬运的研究现状(2):http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_18800.html
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