ZEMAX瑞奇-康芒法的大口径平面面形检测方法研究

摘要伴随光学技术的持续进步,精度高、口径大的光学平面镜在光学的许多领域得到了广泛应用。但光学平面镜的加工难度，随着口径的增大而增加，口径越大的平面镜，可能产生的误差也越高。因此需要有高精度的检测大口径光学平面镜面形的方法。本文对瑞奇-康芒法测量大口径平面镜面形进行了研究。81856

本文研究了瑞奇-康芒法的基本原理，并根据原有检测方法进行了简化。然后，利用ZEMAX对瑞奇-康芒法进行了仿真。通过对待测平面镜在不同瑞奇角下进行仿真的方法，确定理想瑞奇角，然后在以理想瑞奇角为固定角的情况下，对不同矢高的待测平面进行仿真，确定了瑞奇-康芒法的检测精度。

毕业论文关键词大口径光学平面镜瑞奇-康芒法 ZEMAX

毕业设计说明书外文摘要

Title Research of Ritchey-common test in large flat measurements

Abstract With the continuing advances in optical technology, high-precision, large aperture optical flat mirror has been widely used in many fields。 But the difficulty of processing optical flat is increased with the aperture, along with the largeraperture possible errors also higher。 Thus, high-precision method to test the surface shape of large aperture optical flat should be studied。

The paper researches the fundamental of Ritchey-Common test, and simplifies Ritchey-Common test according to the original。 Then, Ritchey-Common test is simulated by ZEMAX。By simulating test planes in different angles of Ritchey,ideal angle of Ritchey is determined。 Then, in the condition that fixed angle is ideal angle of Ritchey, we simulate test planes of different rises of arc。 Finally, we can determine the accuracy of Ritchey-Common test。

Keywords large flat Ritchey-Common test ZEMAX

1 绪论 1

1。1 引言 1

1。2 大口径光学平面检测的研究现状 2

1。3 任务来源 4

1。4 本文的主要研究内容 4

2 瑞奇-康芒法的基本检测原理研究 5

2。1 定量瑞奇-康芒法检测原理简述 5

2。2 半定量瑞奇-康芒法原理研究 7

2。2。1 瑞奇-康芒法检测光路 8

2。2。2 待测平面矢高的计算方法 8

2。3 本章小结 10

3 瑞奇-康芒检验的ZEMAX仿真模拟 11

3。1 Zemax光学设计软件简介 11

3。2 检测光路的初始结构设计 11

3。3 Φ600mm平面镜的瑞奇-康芒法检验精度模拟 13

3。3。1 瑞奇角对于瑞奇-康芒法检验精度的影响模拟 13

3。3。2 瑞奇-康芒法检验精度模拟 15

3。4 本章小结 17

结论 18

致谢 19

参考文献 20

1。绪论

1。1。引言

伴随光学技术的持续进步,精度高、口径大的光学平面镜在光学的许多领域得到了广泛应用，如空间光学、强激光等。但是，光学平面镜的加工难度，随着口径的增大而增加，口径越大的平面镜，可能产生的误差也越高，因此需要有相应的高精度检测方法来精准、定量地测出这些误差，为后期加工修正以及加工方式的改进提供依据。 ZEMAX瑞奇-康芒法的大口径平面面形检测方法研究:http://www.youerw.com/wuli/lunwen_95814.html